三次元影像測量儀是建立在CCD數位影像的基礎上，依托于計算機屏幕測量技術和空間幾何運算的強大軟件能力而產生的。計算機在安裝上控制與圖形測量軟件后，變成了具有軟件靈魂的測量大腦，是整個設備的主體。
在測量側頭前，要進行以下查看，看三坐標側頭硬件，防止重新做：
1.測座裝置方向與三坐標測量儀坐標軸方向相同，假如拆了測座，要進行找正。
2.規范球跟臺面固定結實，各銜接關節緊固。球體沒有損傷，外表清洗。
3.單個測頭方位校準，查三次元測量儀測針直徑與規范差錯，三坐標測針直徑應跟平常校對附近且重復性好，規范差錯小。
4.軟件中三坐標測座、測頭、加長桿、測針設置準確值，測頭運用方位定義準確性。規范球直徑輸入準確值，測頭校準速度設置與測量時共同。
5.測座固定靠譜，測頭、測針的裝置靠譜，寶石球清洗、無損，加長桿裝置長度跟測頭或著吸盤的負載和諧。
6.多個三坐標測頭方位校準的時候，還要用校準后的每個三坐標測頭方位測量規范球，調查球心坐標值的改變，數值應跟示值差錯或勘探差錯附近。
7.使軟件得到三坐標測量儀測針寶石球的“等效直徑”，主動進行“測頭半徑的抵償”。
